IRPT宽量程高精度红外测温仪
FOT-6光纤测温仪
FOT-8单纤双向测温仪
DIT比色测温仪
WRIRT宽量程红外测温仪
DKHIRT手持式红外测温仪
IT-5红外测温仪
IT-6经济型红外测温仪
IT-7二线制红外测温仪
IT-8高精度红外测温仪
IRPT通用红外测温仪
DKLT系列红外热像仪
DKLX系列红外热像仪
DKM系列红外热像仪
半导体测温
MidIR-340 红外测温仪
● 多种波长可选,响应时间可定制 ● 数字输出RS422,支持高速数据采集 ● 主要应用:MOCVD、EPI、IMP等工艺
SI50系列红外测温仪
● 微型化设计,适合狭小空间使用 ● 低温目标高精度测量 ● 主要应用:PVD,ETCH等工艺
SP-FIB-1020(四通道)
● 非接触式温度和辐射率测量 ● 多种光学采集系统可供选 ● 主要应用:HDPCVD工艺
SP-2120红外测温仪
● 温度与发射率实时测量; ● 精度±1.5℃,重复性±0.1℃; ● 主要应用:RTA、RTP、CVD等工艺
SP-FIB-1550
● 非接触式温度和辐射率测量 ● 蓝宝石探头,可深入反应腔内部 ● 主要应用:MOCVD工艺
L920标准光源
● 动态温度范围校准 ● 操作简单,可光纤传输或直接校准 ● 坚固耐用,维护方便
M8-EC COMMUNICATION HUB
● 多个处理器协同工作 ● 高速传输数据 ● 主要应用于多通道测温仪
DIT-6比色测温仪
● 视频瞄准功能可选,光纤型可选 ● 可克服现场烟雾、颗粒物、蒸汽、视场部分遮挡等的影响 ● 主要应用:长晶炉
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