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SP-FIB-1020(四通道)

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● 非接触式温度和辐射率测量 ● 多种光学采集系统可供选 ● 主要应用:HDPCVD工艺


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产品描述

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为更好地满足现场应用多种光学采集系统可供选择:光导型、镜头型、光纤镜头型、光纤光导型。

非接触式温度和辐射率测量。

实时精确测量目标温度,测温精度高达1.5℃。

利用窄带短波长,减少误差、提升测量精度。

宽范围的温度测量能力,实现从室温(25℃)到4000℃ 的高温测量。

主要应用:HDPCVD工艺。


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