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SP-2120红外测温仪

所属分类：

半导体测温

● 温度与发射率实时测量； ● 精度±1.5℃，重复性±0.1℃； ● 主要应用：RTA、RTP、CVD等工艺

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产品描述

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两种光学采集系统可供选择：光导型、透镜型，可用短波长实现低温目标温度测量。

温度与发射率实时测量。

温度分辨率可达0.01℃。

测量速度高达1KHZ(1ms)。

低漂移，测温仪实现温漂不高于0.1℃/年。

精巧易安装，不再依赖光纤，小尺寸、高性能使得测温仪能够在离热源足够近的地方测温。

主要应用：RTA、RTP、CVD 等工艺。

关键词：

SP-2120红外测温仪

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