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RTP红外测温仪

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RTP红外测温仪

主要应用:半导体生产过程中的温度测量如:RTA、RTP、CVD等工艺。
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短波长实现低温目标温度测量

实现短波长测量低温目标;短波长显著降低发射率造成的测量误差,是许多应用的理想选择,如半导体工业中硅片的温度测量。

 

温度分辨可达0.001℃

严谨的系统设计使得噪声更小,可实现低温目标的准确测量。高温度分辨力使得温度控制过程更加平稳。

测量速度高达1Khz(1ms)

响应速1ms,通讯输出频率1000-1可调。数据流或应答输出方式可选。

 

宽范围的温度测量能力

优异的电路及光学系统设计使得测温仪测温范围更宽,可以实现从室温(25℃)到4000℃ 的高温测量。

 

低漂移

测温仪实现温漂不高于 0.1 ºC / 年。

精巧易安装,不再依赖光纤

小尺寸、高性能使得测温仪能够在离热源足 够近的地方测温。

 

基本参数

测量温度范围  180-1300℃

测量精度:±1.5℃/0.15%读数

复精度:±0.10℃

分辨率:  0.001℃
响应时间:1ms    
通光孔径:  2mm(其它可选)

 

电气参数

数字输出:RS422

模拟输出:无

 

操作参数及执行标准

工作温度:10-60℃

存储温度:-20-70℃

相对湿度:10-95%,无结露

抗扰标准:JB/T9233.11-1999

抗冲击:  GB/T2423.1,GB/T2423.2

 

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