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双色测温仪:双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量

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双色测温仪:双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量

  • 分类:行业动态
  • 作者:迪凯光电
  • 来源:www.chinadikai.com
  • 发布时间:2021-01-22 12:34
  • 访问量:

【概要描述】或许大家还不够了解双色测温仪。今天就双色测温仪的典型应用即多晶硅生产测量来为大家介绍一下。一起来看下吧!

双色测温仪:双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量

【概要描述】或许大家还不够了解双色测温仪。今天就双色测温仪的典型应用即多晶硅生产测量来为大家介绍一下。一起来看下吧!

  • 分类:行业动态
  • 作者:迪凯光电
  • 来源:www.chinadikai.com
  • 发布时间:2021-01-22 12:34
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  或许大家还不够了解双色测温仪。今天就双色测温仪的典型应用即多晶硅生产测量来为大家介绍一下。一起来看下吧!


  在多晶硅生产开始时,半导体硅芯在还原炉中被高压瞬间击穿,通过硅芯的电流使硅芯达到1080℃的工艺温度,在硅芯由φ7mm~φ180mm成长的过程中,该工艺温度必须保持不变。但是,随着硅棒直径的不断增大,其相应的阻抗会不断降低,从而使硅棒的受热性降低。为了保持1080℃的硅棒温度不变,只能相应地增加工作电流(电流从开始时的30A,到结束时为2800A)。在动态范围内的大电流变化,对生产设备和操作人员提出了较高的要求。此外,硅棒的熔点在1420℃左右,因此准确测量多晶硅的温度是非常重要的。

双色测温仪

  测量难点:

  1、开始生产时硅芯的直径仅为φ7mm,且目标尺寸过小。

  2、单色红外测温仪测量硅棒温度时,设备必须安装在还原炉外部,通过密封窗口瞄准炉内目标。窗口污染对透光率的影响导致了实际测量的误差。

  3、双层玻璃窗对红外信号的衰减影响较大。


  采用双色测温仪的优点:

  1、利用双色测温仪原理,直接测量目标的实际温度,不受材料辐射率的影响,无需对发射率进行补偿。

  2、目视瞄准,直视目标。

  3、对轻微的窗口污染不敏感。

  4、不再依赖红外绝对能量,对信号衰减不敏感。

  以上便是为您介绍的双色测温仪的典型应用之多晶硅的生产测量,希望对您有所帮助!


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